●ダイヤフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイヤフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
●接ガス部にPTFEなどの耐食性の強い部品を使用したケミカルタイプです。
●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
●ロードロック室排気。
●吸着搬送、ハンドリング。
●レーザーガス循環・排気用。
●真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置。
●排気速度([[リットル]]/min)50/60Hz:20/23
●到達圧力(Pa):0.2×10[[の3乗]]
●吸気口径(mm):10
●電源(V):単相100
●寸法(mm):161×327×217
●騒音値(dB):-
●吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
●サーマルプロテクタ付
●排気速度(L/min):20/23
●到達圧力(KPa):0.2
●吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
●最大寸法(mm):161(W)×327(L)×218(H)
●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。
●原産国：日本
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